Pueden ser varias causas:
-antes de "debugearlo", carga el micro con el .hex para ver si se puede simular correctamente.
-prueba quitando los espacios al archivo fuente.
-problemas al localizar el archivo fuente(la dirección que veo es muy larga), prueba llamandolo desde una carpeta en C.
-problemas del propio proteus, prueba desintalarlo e instalalo de nuevo.
Espero que te sirva de algo.
Salu2